光刻

2021年8月27日

上海微系统所等在3D电子束光刻技术研究中取得进展

电子束光刻精度极高,通常是二维微纳加工获得最小尺寸的 […]
2021年6月10日

上海光机所计算光刻技术研究取得进展

近日,中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电 […]
2021年6月2日

理化所等在无掩模光学投影超衍射纳米光刻技术研究中获进展

数十年来,光刻作为一种有效的图形转移技术,在实现功能 […]
2021年5月9日

中科院沈阳自动化所基于微立体光刻技术构建仿生小鼠腹膜

近日,中国科学院沈阳自动化研究所微纳米课题组在生物细 […]
2021年5月8日

上海光机所极紫外光刻光源掩模优化技术取得进展

近日,中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电 […]
2021年5月8日

科学家利用GeV重离子曝光制备出亚5nm纳米线

纳米光刻是芯片制造和微纳加工中的一项关键技术。高性能 […]