光机所

2021年5月27日

感受科学魅力 中科院西安光机所举办公众科学日活动

5月22日,围绕中科院第十七届公众科学日“百年复兴路 […]
2021年5月9日

西安光机所在等离子体基础前沿及低温等离子体器件研发方面取得进展

近日,西安光机所瞬态光学与光子技术国家重点实验室研究 […]
2021年5月9日

中科院西安光机所实现光子制造技术装备0到1的突破

中科微精研制的一款光栅精细切割产品。孙自法 摄
2021年5月9日

记者探访中科院西安光机所 揭秘航天器、飞机“心脏”中的关键核心技术

据中央广播电视总台中国之声《新闻晚高峰》报道,作为飞 […]
2021年5月9日

上海光机所光刻机投影物镜热效应模型研究取得进展

光刻机是集成电路制造的核心装备,其作用是将承载集成电 […]